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• 产品特性 / Product characteristics

• • 标准型低温泵的产品系列

  

  

  • L型

  

• 标准低温泵16型
  Model CRYO-U16

  

  特征

  1. Suitable for medium and large-size equipments.
  2. Suitable for batch type large deposition systems.
  3. Resistant to thermal load.

  外形尺寸（单位：mm）

  

  标准规格

  排气速度（20℃）	氮气	L/s	5,000
  	氢气		10,000
  	氩气		4,200
  	水		16,000
  极限压力	Pa(Torr)		10-7(10-9)
  最大流量	氩气	Pa?L/s(Torr?L/s)	1.4×103(11.0)
  	氢气		4.1×102(3.1)
  排气量	氩气	Pa?L(Torr?L)	4.3×108(3.3×106)
  	氢气		2.4×106(1.8×104)
  冷却下降时间	min(Hz)		110/100(50/60)
  吸气口法兰			UVG-400
  压缩机装置			C30VR
  重量		kg	61.0

  Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
  *保养周期：16,000小时

  标准低温泵16型
  Model CRYO-U16P

  

  特征

  1. Suitable for medium and large-size equipments.
  2. High-load version of the CRYO-U16.

  外形尺寸（单位：mm）

  

  标准规格

  排气速度（20℃）	氮气	L/s	5,000
  	氢气		10,000
  	氩气		4,200
  	水		16,000
  极限压力	Pa(Torr)		10-7(10-9)
  最大流量	氩气	Pa?L/s(Torr?L/s)	1.6×103(12)
  	氢气		4.5×102(3.4)
  排气量	氩气	Pa?L(Torr?L)	4.3×108(3.3×106)
  	氢气		2.4×106(1.8×104)
  冷却下降时间	min(Hz)		120/110(50/60)
  吸气口法兰e			UVG-400
  压缩机装置			C30VR
  重量		kg	61.0

  Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
  *保养周期：16,000小时s

  标准低温泵20型
  Model CRYO-U20H

  

  外形尺寸（单位：mm）

  

  标准规格

  排气速度（20℃）	氮气	L/s	10,000
  	氢气		18,000
  	氩气		8,400
  	水		29,000
  极限压力	Pa(Torr)		10-7(10-9)
  最大流量	氩气	Pa?L/s(Torr?L/s)	1.7×103(12.8)
  	氢气		5.0×102(3.7)
  排气量	氩气	Pa?L(Torr?L)	5.8×108(4.4×106)
  	氢气		4.6×106(3.4×104)
  冷却下降时间	min(Hz)		160/140(50/60)
  吸气口法兰			UVG-500,20BANSI,ISO-500
  压缩机装置			C30PVRT
  重量		Kg	72.0

  *保养周期：16,000小时

  标准低温泵22型
  Model CRYO-U22H

  

  特征

  1. Suitable for large deposition systems.
  2. Larger pumping speed for water.

  外形尺寸（单位：mm）

  

  标准规格

  排气速度（20℃）	氮气	L/s	17,000
  	氢气		25,000
  	氩气		14,000
  	水		39,000
  极限压力	Pa(Torr)		10-7(10-9)
  最大流量	氩气	Pa?L/s(Torr?L/s)	4.1×103(31)
  	氢气		1.3×103(9.6)
  排气量	氩气	Pa?L(Torr?L)	8.1×108(6.1×106)
  	氢气		8.5×106(6.4×104)
  冷却下降时间	min(Hz)		150/135(50/60)
  吸气口法兰			UVG-550
  压缩机装置			C30VR×2
  重量		kg	125.0

  *保养周期：16,000小时
  
  Export permission of the Ministry of Economy, Trade and Industry is required for export of U22H and U30H.Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
  COMBINATION OF CRYOPUMP AND COMPRESSOR UNIT

  标准低温泵28型
  Model CRYO-Optic U28

  

  外形尺寸（单位：mm）

  

  标准规格

  排气速度（20℃）	氮气	L/s	11,500
  	氢气		14,000
  	氩气		9,700
  	水		39,000
  极限压力	Pa(Torr)		10-7(10-9)
  最大流量	氩气	Pa?L/s(Torr?L/s)	1.7×103(12.8)
  	氢气		5.0×102(3.7)
  排气量	氩气	Pa?L(Torr?L)	5.8×108(4.4×106)
  	氢气		6.0×106(4.5×104)
  冷却下降时间	min(Hz)		180/170(50/60)
  吸气口法兰			UVG-550
  压缩机装置			C30PVRT
  重量		Kg	115.0

  *保养周期：16,000小时

• • 产品应用 / Product application

  •  • 各种真空设备

  • 产品参数 / Product parameters
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