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爱发科螺杆型干泵
型号：MS120/1200
品牌：爱发科ULVAC
产品说明

 请联系13862055048+微信！！！

"Model:MS"是螺杆型干式真空泵。在传统的"Model:LS"的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

  • MS120A

  • MS600A

  • MS1200A

特点

  • 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
  • 采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
  • 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

 

用途

  • 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
  • 真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
  • 锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
  • 医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

 

规格

型式 MS120A MS600A MS1200A
最大排气速度 *1 m3/h 115 560 980
到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1
电源电压 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1
冷却水量 L/min >4.0
Purge gas量 *1 SLM 0~50
最大水蒸气处理量 *1*3 kg/h 1.5
噪音值　*1 dB(A) 61 62 64
吸气口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100
排气口 KF40
质量 *4 kg 139 241 264
适用规格 CE、cTUVus
标准附属品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本体选配件 Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM
外部选配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到达压力时
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
*4：Including a silencer

 

排气速度曲线

  • MS120A
    ms120a_curve.png
  • MA600A
    ms600a_curve.png
  • MS1200A
    ms1200a_curve.png


 

 

 

尺寸图

ms_size_e2.png
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