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过程气体监测仪是用于各种制造过程中的设备，用于实时高精度地测量和监控过程气体的管理和浓度。它利用四极子型原理检测气体成分，提供准确的气体组成数据。通过这一点，在电子设备和半导体等对气体管理要求严格的领域，实现了质量提升和生产效率的提高。
气体分析仪（过程气体监测仪）主要用于半导体制造和电子设备制造过程中，用于实时监测气体的成分和浓度。其主要特点如下：气体分析仪（过程气体监测仪）主要用于半导体制造和电子设备制造过程中，用于实时监测气体的成分和浓度。其主要特点如下：
高精度地测量特定的气体成分，帮助过程控制。实时监测过程气体的状态，实现异常的早期检测和过程优化。一次测量即可同时测量多种气体成分。近来，铝美克（ALVAC）的气体分析仪（过程气体监测仪）不仅在上述过程中得到了应用，还在各类工业过程和研发中，支持高效和高精度的气体分析。
最适合用于溅射设备的过程管理（残留水分、不纯物、泄漏监控）
溅射工艺Model: Qulee CGM2-051 / 052/101/102
ULVAC新型工艺气体分析仪(RGA)，实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。
特点
- 适用于各种溅射系统的工艺监控
- Air Leak监控
- 残留水分管理
- 无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
- 内置显示屏：无需PC可单独操作使用
- 可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-052）
- 可进行全压测定
- 操作简单-One Click功能
- 标配Qulee QCS软件
- 支持CE标准
用途
- 适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。
- 用于溅射设备的泄漏测试。
规格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型号 | CGM-051 | CGM2-101 | CGM-052 | CGM2-102 |
| 质量分离方式 | 四极型质量分析仪 | |||
| 质量数范围 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
| 检出器 | 法拉第杯 | 二级电子倍增管／法拉第杯 | ||
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小检知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
| 线性 | 1Pa | |||
| 全压力测量功能 | 有 | |||
| Degas function | Electron bombard type 300V, 5mA | |||
| 一键检漏功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| 电源电压 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大烘烤可能温度 (传感器单元连接时) |
120℃ | |||
| 最大烘烤可能温度 (传感器单元移除时) |
250℃ | |||
| 使用温度范围 | 10～40℃ | |||
| 接口 | Ethernet | |||
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
| 符合标准 | CE | |||
基础工艺Model: Qulee BGM2-101 / 102/201/202
特点
- 性价比优异的通用规格
- 测量质量范围 1～100 amu
- 显示部分一体化设计???无需电脑也可进行测量
- 操作简单 - One Click机能???对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作
- 增强检漏功能
- 可以测量总压力
- 标准搭载Qulee QCS软件
- 符合CE
用途
- 真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
- 高真空排气设备的残留气体分析
- 冷冻干燥设备的残留气体分析
- 研究开发用途的各种气体分析
规格
Resolution M/△M=1M(10% P.H.)
| Model | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| Mass filter type | Quadrupole | |||
| Mass range | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| Detector type | Faraday cup | EM tube Faraday cup |
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| Sensitivity | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| Minimum detectable partial pressure | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| Maximum operating pressure | 1x10-2Pa | |||
| Total pressure function | Capable/10-2 ?10-5Pa | |||
| One Click function | Capable /He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click leak test function | Capable | |||
| Power input | DC24V±10％ 50W | |||
| Maximum sensor operating temperature | 120℃ (248℉ ) | |||
| Maximum bakeout temperature (electronics removed) | 250℃ (482℉) | |||
| Operating temperature range | 10 to 40℃ (50 to 104℉ ) | |||
| Software | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
| Applicable standard | CE | |||
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公司营业时间：周一～周五，北京时间【8:30-17:30】
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