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日本松定高压电源HJC系列
型号:HJC系列
品牌:日本松定电源[鹏控代理]
产品说明

HJCシリーズ

静電チャック用高圧電源

HJCシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剥離させることも可能です。

·  静電チャック専用設計。

·  出力は電子スイッチで高速応答(100ms)

·  両極性出力。

·  RFフィルタ内蔵(オプション)。

·  リレーを使わないので高信頼、長寿命。

出 力

モデル名

電 圧[kV]

電 流[mA]

リップル[%ms]

±1

6

0.1

HJC-1B6

30

0.1

HJC-1B30

±2

3

0.1

HJC-2B3

15

0.1

HJC-2B15

±3

2

0.1

HJC-3B2

10

0.1

HJC-3B10

±4

1.5

0.1

HJC-4B1.5

7.5

0.1

HJC-4B7.5

±5

1.2

0.1

HJC-5B1.2

6

0.1

HJC-5B6

 

用户评论 我来说两句(?)
标题
内容
1
hFYoasyDKrNyPAL
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评论人:匿名
最后编辑于:2021-01-09 18:41
2
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评论人:匿名
最后编辑于:2021-01-09 18:41
3
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最后编辑于:2020-12-15 13:32
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最后编辑于:2020-12-13 06:01
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