充分尊重客户,以客户为中心营造我们的经营环境,客户的满意是我们的追求! 

南京鹏控机电设备有限公司,一个不断追求专业化的公司 http://www.cndenkei.com 电话:025-58860935、85355355、58850162、58850165 传真:025-58575593 感谢新老客户关爱与支持!友谊、共享、感恩!

日本松定高压电源HCU系列
型号:HCU系列
品牌:日本松定电源[鹏控代理]
产品说明

HCUシリーズ

静電チャック専用高圧電源

HCUシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剥離させることが可能です。

·  静電チャック専用設計

·  +、-2出力タイプ

·  極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離

·  RFフィルター内蔵

·  ローカル、リモート、RS232Cで操作可能

出 力

モデル名

出力電圧

出力電流

リップル[mVp-p]

+500V-500V

10mA

1

HCU-0.5PN6

+1kV-1kV

3mA

1

HCU-1PN3

+1.5kV-1.5kV

2mA

100

HCU-1.5PN2

 

用户评论 我来说两句(?)
标题
内容
暂无评论!