日本松定高压电源HCU系列

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日本松定高压电源HCU系列

型号：HCU系列

品牌：日本松定电源[鹏控代理]

产品说明

HCUシリーズ

静電チャック専用高圧電源

HCUシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剥離させることが可能です。

· 静電チャック専用設計

· ＋、－2出力タイプ

· 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離

· RFフィルター内蔵

· ローカル、リモート、RS232Cで操作可能

用户评论


            我来说两句(?)

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