日本松定高压电源HECA系列

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日本松定高压电源HECA系列

型号：HECA系列

品牌：日本松定电源[鹏控代理]

产品说明

HECAシリーズ

静電チャック専用高圧電源

極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剥離が可能です。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを内蔵できます。

· 静電チャック専用設計。

· 2ch出力内蔵（1kV to 5kVタイプ）。

· 両極性出力。

· RFフィルタ内蔵可能（オプション）。

· 電子切換で高速応答も可能（10ms）。

· リレーがないので高信頼、長寿命。

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