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日本松定高压电源HECA系列
型号:HECA系列
品牌:日本松定电源[鹏控代理]
产品说明

HECAシリーズ

静電チャック専用高圧電源

極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剥離が可能です。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを内蔵できます。

·  静電チャック専用設計。

·  2ch出力内蔵(1kV to 5kVタイプ)。

·  両極性出力。

·  RFフィルタ内蔵可能(オプション)。

·  電子切換で高速応答も可能(10ms)。

·  リレーがないので高信頼、長寿命。

出 力

モデル名

電 圧[kV]

電 流[mA]

リップル[%ms]

±1

6

0.1

HECA-1B6×2

30

0.1

HECA-1B30×2

±3

2

0.1

HECA-32×2

10

0.1

HECA-310×2

±5

1

0.1

HECA-51×2

6

0.1

HECA-56×2

±10

0.5

0.1

HECA-10B0.5

3

0.1

HECA-10B3

 

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