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日本松定高压电源HEC系列
型号:HEC系列
品牌:日本松定电源[鹏控代理]
产品说明

HECシリーズ

静電チャック用高圧電源

ECシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剥離させることも可能です。
単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。

·  静電チャック専用設計。

·  2ch出力内蔵(×2モデル)。

·  両極性出力。

·  リバース出力(Rモデル)。

·  RFフィルタ内蔵(オプション)。

·  出力は電子スイッチで高速応答。

·  リレーを使わないので高信頼、長寿命。

·  極性反転によるスムーズな剥離。

出 力

モデル名

電 圧[kV]

電 流[mA]

リップル[%ms]

±1

200

0.1

HEC-1R200×2

±3

67

0.1

HEC-367×2

±5

40

0.1

HEC-540×2

±6

33

0.1

HEC-633×2

±10

20

0.1

HEC-1020×2

 

用户评论 我来说两句(?)
标题
内容
1
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评论人:匿名
最后编辑于:2021-01-27 01:38
2
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评论人:匿名
最后编辑于:2021-01-27 01:38
3
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最后编辑于:2021-01-10 00:44
4
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最后编辑于:2021-01-09 23:19