静電チャック用高圧電源

ＨEＣシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剥離させることも可能です。
単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。

·  静電チャック専用設計。

·  2ch出力内蔵（×2モデル）。

·  両極性出力。

·  リバース出力（Rモデル）。

·  RFフィルタ内蔵（オプション）。

·  出力は電子スイッチで高速応答。

·  リレーを使わないので高信頼、長寿命。

·  極性反転によるスムーズな剥離。